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sem扫描电子显微镜是测什么的,sem显微镜全称

站浪 调整文字大小:【      】 | 来源:站浪引爆流量第一站 | 作者:编辑部-李婷

| 2024年11月17日 07时24分31秒 阅读: | 分享至:

 

 

    sem扫描电子显微镜是测什么的,sem显微镜全称

  

    SEM检测可应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。 FESEM和SEM的简单区别在于发射电子的装置不同。 一个使用灯丝,另一个使用场发射。 通过掌握这种形态对比度的基本原理,基于专业知识,更容易理解复杂形态扫描图像的特征。

    扫描电镜的优点是有较高的放大倍数,可在20-20万倍之间连续调整; 获得景深大、视野宽、立体感强的图像,可以直接观察各种样品凹凸表面的微结构; 制样简单。 在同一平面上,原子序数越大,背散射电子越多,最终的图像越亮,如下图所示。 通常组装聚焦透镜和物镜两组。 聚焦透镜只是用于聚焦电子束,与成像焦点无关。 物镜将电子束的焦点集中在样品表面。

    从结构上看,如图2所示,扫描电镜主要由电子光学系统、信号检测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、供电系统7个系统组成。 由于回射电子的产生额随原子序数的增加而增加(右),利用回射电子作为成像信号不仅可以分析新的外表特征,还能显示原子序数的对比度,定性地进行成分分析。 从样品表面形貌获得多方面资料:扫描电子图像不是同时记录的,而是分解成近百万个依次根据这一记录组成的。

    高能电子束与样品物质的相互作用产生二次电子、背反射电子、x射线等信号。 为了最大限度地收集背散射电子,探测背散射电子需要将固体探测器与电子束同心地放置在试料上。 因为时间倍率总是固定且不可调节,所以电子束的孔径角是唯一可调节的参数。 除了与入射能量有关外,还与次级电子束与样品表面法线的夹角有关,三者之间满足以下关系: 1/cos。

    1个空穴对产生的平均能量是恒定的,但低温下平均为3.8ev。 另一方面,由于1个x射线光子产生的空穴对的数量为N=E/,因此入射到x射线光子的能量越高,n越大。 主要使用电子束按点扫描试样表面,通过电子束与试样的相互作用,从试样中激励出与试样性质相关的各种信息,例如二次电子、反向发射电子、x `线等,分别收集从这些试样激励出的信息,由此经过

    在样品中存在突起小粒子或尖角的情况下,对二次电子像的对比度产生较大影响的是,在这些部位电子离开表层的机会变多,即由于电子束产生比剩馀部位多的二次电子信号强度,因此在扫描像上异常明亮的对比度扫描电镜与能谱分析技术[M] .华南理工大学出版社,2009。 不同设备倍数有一定的差异,请提供形态参考图和能谱位置说明,以获得满意的效果。 如果没有类似的参考,请尽量用文字详细说明需求;

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