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SEM 电子束能量选多大,电子束能量单位
高分辨率拍摄时,试样厚度宜控制在20 nm以下,直接捞取直径小于20 nm的粉体,若颗粒更大,包埋后离子宜变薄。 在电子被上偏转线圈偏转后,不通过下偏转线圈改变方向,而是通过末级透镜直接折射到入射点的位置的情况下,将该扫描方式称为角光扫描,入射光束被上偏转线圈偏转的角度越大,电子束越在入射点偏转
由于电子对磁场非常敏感,因此只需调节施加电流的大小就可以控制显微镜镜筒内的电子路径。 由于电子的波长长期小于光的波长,扫描电镜的分辨率高于光学显微镜的分辨率。 样品在入射电子束的作用下产生各种物理信号,有二次电子、背散射电子、特征x射线、阴极荧光和透射电子,不同的物理信号需要使用不同类型的检测系统。
扫描电镜下样品表面粗糙,一般要求较大的工作距离,导致扫描电镜物镜焦距较长,相应相位差系数较大,引起最小束斑大小的亮度限制,系统空间分辨率一般比透射电镜下的高入射电子束与样品相互作用产生的各种信号和不同微区强度的差异决定了扫描电镜图像对比度,这是解释图像的依据。 大致分为电子检测器、阴极荧光检测器、x射线检测器3种。
在现实操作中,由于主流观点的影响,往往将视线放在首位,夸大光斑直径的影响,忽视了光束强度不足导致的信号量不足,无法获得高质量的高分辨率图像。 TEM样品厚度宜小于100nm,过厚则电子束难以穿透,分析效果不佳。 扫描型电子显微镜的放大倍率通过改变电子束的偏转角度来实现放大倍率的调节。 由于观察用荧光屏的尺寸是一定的,所以电子束的偏转角度小,在试样上扫描面积越小,放大倍率m就越大。
当电压加速上升时,电子束在样品表层激发的信息减少,内部信息的激发增加。 SEM照片清楚地表明,沿晶体断裂时,裂纹沿晶界扩展,晶界明显; 贯通断裂是裂纹在晶粒中扩展,晶界变得模糊。 在信号电子数( n小时,信号/噪声之比太小,从而有可能将信号淹没于噪声中; 只有在信号电子数( n较大时,才能获得较大的信号/噪声比。
例如,如果操作人员希望获取样品的表面信息,如粗糙度和污染物检测,则必须选择扫描电子显微镜( SEM。 如果不是真空环境,镜筒中可能存在其他原子和分子,它们与电子相互作用,使电子束偏转,导致画质降低。 根据个人测试经验,在起始条件下选择的光束流较大,综合效果较好。 荷电电场的下降会逐渐减弱对样品表面电子流失量的干扰,荷电现象也会逐渐减弱,这是一个量转化为质的过程。
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