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SEM能测深度吗,sem测什么的
二次电子信号主要来自样品表面,其深度范围为10 nm,成像具有较高的分辨率,能较好地反映样品形貌特征。 结合使用能谱( EDS )和扫描电镜可以对材料微区元素的种类和含量进行分析。 x射线可以从样本的较深位置射出,其深度范围可以达到5 m。
背散射电子对比度主要反映样品表面原子序数的差异,样品平坦时SE像没有对比度差异,但存在不均相时BSE像有清晰的相区。 通常,用扫描电镜进行样品观察,二次电子的使用多于背散射电子。 几何光学探针利用像面共轭特性检测表面形貌。 有共焦显微镜和散焦检测两种方法。 物理光学探头利用干涉原理通过测量距离差来检测表面形貌。 有外差干涉和微分干涉两种方法。
表面微观形貌表面成分分析材料断口分析涂层厚度测定表面粗糙度测定微量污染物成分分析。 如果实在分不开的话,虽然只有倾斜,但应该是测量的尺寸除以倾斜的角度余弦得到的值吧。 干涉显微镜测量方法可以同时测量----个面的表面形貌、横向分辨率取决于显微镜的数值孔径,一般为pum或亚pum级; 横向测量范围取决于显微镜视场,大小为毫米级:纵向分辨率取决于干涉测量方法,一般为nm或0.1nm级:纵向测量范围为波长级。
随着加速电压的增大,入射电子的能量也增加,电子的透射深度加深,电子轨道在样品表面变化不大,随着电子透射深度的增加和多次散射的发生,入射电子的方向也发生变化,作用区域也变大。 用扫描电镜( SEM )短时间进行质控异物分析。 将样品倾斜到样品支持器,假设倾斜角为120度,是实际看到的孔的最里面和样品表面的距离乘以60度的角的余弦吗?
电子束聚焦到达试样表面后,激发出二次电子( SE )、背散射电子( BSE )、俄歇电子( oger电子)、特性x射线( X-ray )、透射电子( TE )等各种物理信号。 这里,a是样品原子量,z是样品原子序数,E 0是入射电子能量(单位KeV ),是样品密度。 根据蒙特卡罗电子轨道模型可以推导出入射电子的最大透射深度h。
形态、功率谱点扫描、功率谱线扫描、功率谱面扫描; 可以镀金,可以拍摄非磁性、弱磁性、强磁性的样品。 不同型号的结果形式有差异,以下是Zeiss品牌SEM的结果,仅供参考。 前者光栅尺的长度不变,但代表性的长度根据放大倍率而变化,后者光栅尺的长度根据阶段放大倍率可变,但代表性的长度在一定的放大倍率范围内是一定的。 探针式测量方法:探针式轮廓测量仪测量范围广,测量精度高,但属于点扫描测量,测量费时。
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