sem分辨率一般为多少，为什么tem比sem分辨率高

　　　　sem分辨率一般为多少，为什么tem比sem分辨率高

　　　　对于所有SEM，提高加速电压都会提高分辨率，当加速电压降至数kV以下时分辨率也会急剧下降，但低加速电压下分辨率的下降主要是由色差的影响引起的。 一般来说，热阴极电子枪的最小束斑直径可以缩小到6nm，场发射电子枪的束斑直径可以小于3nm。 入射束能量越高，样品的原子序数越小，电子束的作用体积越大，伴随电子束扩散产生信号的区域越大，分辨率降低。

　　　　通过用电子束扫描样品表面的特定区域，可以在CRT上用亮度分布表示元素在样品表面的分布(定性分析)。 在M=Ac/As式中，扫描型电子显微镜倍率可以表示为Ac—荧光屏上图像的边长； As—电子束在样品上的扫描振幅。 SEM的实际分辨率图37显示了SEM的加速电压与分辨率的关系，显示了通用型SEM、通用型FESEM和超高分辨率FESEM这3种SEM的分辨率。

　　　　将分析范围准确定位于样品中感兴趣的点，进行定性或定量分析，常用于材料晶界、析出相、夹杂相等微观结构的成分分析。 EBSD技术在SEM上加装EBSD采集硬件和分析系统，可以通过SEM进行样品微区晶体结构和取向信息分析，将微区晶体结构和取向信息与微观组织形态对应起来。 在微观区域的成分分析中，分辨率是指可以分析的最小区域的图像，这意味着可以分辨两点之间的最小距离。

　　　　景深是指焦点前后的距离范围，由该范围内所有物点组成的图像都能够满足分辨率要求，产生清晰的图像，即景深是可见的距离范围。 通常，Ac是固定的，通常为100 mm。 通过改变As可以改变倍率。 另外，使用肖特基发射电子枪的SEM分辨率曲线与通用型FESEM大致相同。 影响扫描电镜分辨率的主要因素有： a .入射电子束光斑直径：扫描电镜分辨率的极限。

　　　　对照样品形貌分析，可以直观分析元素在不同相或区域内的分布和变化趋势。 高分子中各成分间的平均原子序数差异不大； 只有特殊的高分子多相体系才能利用该对比度图像。 扫描电镜是我们金属科技领域应用最多的微观组织和表面形貌观察设备，更多地掌握扫描电镜的使用方法需要机器练习，逐渐成为金属专业科研人员工作的好助手。

　　　　在以电子、x射线、阴极荧光、束感应电导和电位等作为调制信号的其他操作方式中，由于信号来源于电子束的整个散射区域，因此得到的扫描像的分辨率较低，一般在l 000nm以上。 放大倍数并不是越大越好，应根据有效放大倍数和分析样品的需要进行选择，并与分辨率保持一定的关系。