SEM为什么要高真空，sem为什么要抽真空 　　 　　　　对于kV电子束的0.037埃，普通TEM的电分辨率仅为0.8纳米。 图1所示的SEM低真空控制器是典型的闭环控制电路，电路包括SEM的真空泵和样品室(图中所示)、连接样品室的真空管路、安装在真空管路的电容真空计和NVNV数

　　　　sem扫描电镜能干什么，SEM扫描电镜全称 　　 　　　　纳米材料是指材料的粒子或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面清洁的情况下，压制形成的固体材料纳米材料有望成为许多物理化学性质不同于晶态和非晶态的纳米材料，是未来材料研究的重点扫描电镜重要特

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